• Продать, купить сырье в Минске
ПОДАТЬ ОБЪЯВЛЕНИЕ
бесплатно, без регистрации

Изготовления и рециклинг пластин GaAs и других А3В5 материалов

300,00 руб. Цена

МИНСК, Минск| Добавлено: 09 Января 2017, 18:58
Вид операции Продам
Назначение Для промышленного производства

Пластины GaAs изготовлены по технологии epi-ready с использованием технологии и химических составов корпорации Fujimi (Япония).


Производство интегральных СВЧ микросхем, светодиодов, ИК излучателей, в том числе полупроводниковых лазеров, спутниковых солнечных батарей и пр.

Характеристики пластин http://nil28.by/nauka/88 :
Метод выращивания ...…….................………Чохральского (LEC);
Диаметр, мм ………………….................…50,8+/-0,3 и 76,2+/-0,3;
Удельное сопротивление, ом*см ………..……...............… > 1*107;
Подвижность, cm2/VS …………………..……….................... ≥ 4500;
Плотность дислокаций, см-2…………………..................…. ≤ 1*105;
Тип материала ……………………................…полуизолирующий;
Легирующая примесь…………………............…нелегированные;
Кристаллографическая ориентация …………............. по заказу;
Толщина …………………………………….......…..............по заказу;
Ориентация срезов ……………………............….….….по заказу;
Обработка лицевой стороны ….........полированная, подготов-
ленная под эпитаксию;
Обработка обратной стороны………………....…........по заказу;
TTV, мкм …………………….…………………......................…. < 7;
Bow, мкм ……………………….....…………….................…….< 10;
Упаковка …………………….......... индивидуальный контейнер
в инертной атмосфере.

Рециклинг пластин арсенида галлия GaAs

Существует целый ряд разновидностей брака поверхности пластин арсенида галлия, образующегося на различных стадиях изготовления полупроводниковых приборов. При проведении процессов эпитаксии, фотолитографии, металлизации и других часть пластин отбраковывается и изымается из технологического процесса. На поверхности таких пластин находятся слои эпитаксиальных плёнок, фоторезиста, металла.

Разработана технология восстановления пластин А3В5, реализуемая на собственном производственном участке. В рамках технологического процесса пластины сортируются по видам дефектов, глубине нарушений, толщине пластин. Затем бракованные пластины арсенида галлия проходят очистку и химическую обработку поверхности.

В дальнейшем происходит удаление нарушенных слоёв химико-механической полировкой производится предэпитаксиальная обработка поверхности и пластины упаковываются в индивидуальные контейнеры в среде инертного газа.

После этого пластины могут повторно использоваться в процессах эпитаксиального наращивания.

Изготовления и рециклинг пластин GaAs и других А3В5 материалов

           
Комментариев 0
Контакты:

Михаил Иосифович
+375XXXXXXXXX
показать


Комментарии:
Сообщений нет
Все регионы Минск